国家/地区 美国(76) 世界知识产权组织(56) 韩国(39) 日本(35) 中国(34) 欧洲专利局(EPO)(33) 台湾(12) 加拿大(6) 澳大利亚(5) 印度(5) 法国(4) 西班牙(3) 墨西哥(3) 俄罗斯(3) 新加坡(3) 巴西(2) 英国(2) 波兰(2)
IPC部 B(97)
IPC大类 C01(97)
IPC小类 C30B(97)
IPC B82Y040/00(61) C30B029/02(59) C01B031/04(51)
B82Y030/00(46) C01B031/02(33) C01B032/186(26)
C23C016/26(26) C30B025/18(22) C01B032/184(21)
C30B029/64(18) C01B032/182(17) C01B032/194(14)
C30B001/02(13) H01L021/02(13) H01L029/16(12)
发明人 CHOI J(4) JANG B Z(4) VEERASAMY V S(4)
WANG H(4) XIE X(4) CHOI J Y(3)
DING G(3) SHIN H(3) VEERASAMY V(3)
XIONG W(3) YOON S(3) ZHAMU A(3)
AHMED M(2) ARNOLD M S(2) BERRY V(2)
公开年 2013(14) 2012(10) 2021(10) 2011(8) 2014(8) 2016(8) 2015(7) 2017(7) 2022(6) 2018(5) 2009(4) 2023(4) 2020(3) 2010(2)
申请年 2012(12)  2013(12)  2011(11)  2016(9)  2021(9)  2020(8)  2014(7)  2015(6)  2009(5)  2008(4)  2017(4)  2022(4)  2010(2)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 GUARDIAN IND.(4) NANOTEK INST.(4) SHANGHAI INS.(4) CENT NAT REC.(3)
EMPIRE TECHN.(3) GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) NAMIKI SEIMI.(3)
SAMSUNG ELEC.(3) UNIV KANSAS .(3) UNIV SINGAPO.(3) CHINESE ACAD.(2)
DING G(2) DOKURITSU GY.(2) FUJITSU LTD(2) IND TECHNOLO.(2)
JANG B Z(2) LOCKHEED MAR.(2) MAX PLANCK G.(2) MEMC ELECTRO.(2)