国家/地区 美国(5) 中国(4) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
C23C016/26(3) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
H01L021/205(3) H01L029/16(3) C01B031/04(2)
C01B032/186(2) C23C016/02(2) H01B001/04(2)
H01L021/20(2) H01L029/06(2) H01L029/778(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(4)
申请年 2012(6)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2) UNIV XIDIAN(2)