国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
VEERASAMY V S, VEERASAMY V