国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4) C30B029/02(4)
C01B032/186(3) B82B003/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) C23C016/02(2)
C23C016/44(2) C30B025/18(2)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2014(2) 
专利权人