国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C01B032/186(3) C30B029/02(3) B82Y030/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/04(2) C23C016/26(2)
C30B025/02(2)
发明人
公开年 2021(6)
申请年 2020(5) 
专利权人