国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC H01L021/02(4) C30B029/40(3) C23C016/34(2)
C30B029/38(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人