| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)
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| IPC部 |
C(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
