国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
G01(6)
C01(4)
H01(3)
B32(2) B82(2) C07(2) C09(2) |
IPC小类 |
G01J(6)![]() |
IPC |
C01B031/02(2)
C01B031/04(2)
C01B032/182(2)
C01B032/19(2) H01L051/00(2) |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) 2021(2) |
申请年 | 2014(2) 2020(2) |
专利权人 |
PETIT C, MATAR O, STAFFORD J
SPIGONE E, HAQUE S M, KIVIOJA J
CHOW J R, KETOLA K S, LA KOMSKI D M, TOWNSEND C W, ELIAS W E, MARBLE S J, LAKOMSKI D M