国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 G01(6) C01(4) H01(3)
B32(2) B82(2) C07(2)
C09(2)
IPC小类 G01J(6)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
C01B032/19(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2015(2) 2021(2)
申请年 2014(2)  2020(2) 
专利权人