国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 印度(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 G01(5)
IPC小类 G01J(5)
IPC G01J005/20(3) H01L027/146(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(3)  2021(2) 
专利权人