国家/地区 中国(27)
IPC部 G(27) H(10) C(3)
B(2)
IPC大类 G01(27) H01(9) G02(2)
IPC小类 G01J(27)
IPC G01J001/42(12) G01J011/00(4) G01J005/00(3)
G01J001/04(2) G01J001/56(2) G01J004/00(2)
G01J005/20(2) G02F001/01(2) H01L035/22(2)
发明人 INVENTOR U(7) DAI X(2) LIU J(2)
公开年 2020(13) 2021(13)
申请年 2020(27)
专利权人 ZHONGSHAN KE.(4) JINHUA FUAN .(2)