国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7)
IPC小类 B82Y(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2011(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E