国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 H01(10) C23(5) C01(4)
B82(2)
IPC小类 H01J(10)
IPC H01J009/02(10)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2022(3) 2020(2)
申请年 2020(3)  2021(3) 
专利权人