| 国家/地区 |
中国(5)
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| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC | H01L045/00(2) |
| 发明人 |
WU D(5)
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| 公开年 |
2010(5)
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| 申请年 | 2010(3) 2009(2) |
| 专利权人 | UNIV TSINGHU.(3) UNIV FUDAN(2) |
ZHOU P, ZHANG W, WU D, SUN Q
ZHOU P, ZHANG W, WU D, SUN Q
LI C, ZHU H, WEI J, WANG K, WU D, LI X
JIA Y, LI C, LI X, LI Z, WANG K, WEI J, WU D, ZHU H
