国家/地区 中国(5)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC H01L045/00(2)
发明人 WU D(5)
公开年 2010(5)
申请年 2010(3)  2009(2) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(3) UNIV FUDAN(2)