国家/地区 美国(8) 世界知识产权组织(6) 韩国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 B01J(10)
IPC C01B031/04(8) C01B031/02(7) B82Y030/00(6)
B82Y040/00(6) B01J019/10(3) B01J021/18(3)
H01B001/04(3) B01J019/08(2) B01J019/12(2)
B01J027/20(2) B01J037/02(2) B82B003/00(2)
C01B031/00(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2)
发明人
公开年 2011(10)
申请年 2010(4)  2011(4)  2009(2) 
专利权人