国家/地区 中国(7) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) C23C016/26(3)
发明人 DING G(5) XIE X(5) JIANG M(3)
DI Z(2) GONG Q(2) SUN L(2)
WANG S(2)
公开年 2012(7)
申请年 2012(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)