国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(4) C01(2) C03(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(2)
IPC C23C016/02(3) C23C016/26(3)
发明人 DENG R(7)
公开年 2017(7)
申请年 2016(4)  2015(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)