| 国家/地区 |
德国(12)
|
| IPC部 |
C(7)
H(7)
B(5)
G(3) |
| IPC大类 |
H01(7)
C01(6)
B82(4)
C23(2) G06(2) |
| IPC小类 |
C01B(6)
B82Y(4)
H01B(4)
H01L(3) C23C(2) G06Q(2) H01M(2) |
| IPC |
B82Y040/00(4)
C01B032/20(4)
B82Y030/00(3)
C01B031/04(3) C01B032/182(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2) C23C016/56(2) H01B001/04(2) H01B005/02(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(12)
|
| 申请年 |
2016(12)
|
| 专利权人 | FRAUNHOFER G.(2) SIEMENS AG(2) |
GRABBERT N, MEYER V, LANG K, FIEDLER M
LI C, RAVI S, BENDERSKY M, GARG V
RUHL G, SCHULZE H, LIPPERT G, ZIMMER T
KLINGELE M, THIELE S, VAN PHAM C, PHAM V C
NEBEL C E, HOFFMANN R, ROSCHER S, ROSCHNER S, HOFFMAN R
SONG K H, KIM B W, KWAK J, CHA J, LYO I W, LEE H S, SONG K, KWOK J, CHE Z, LV Y, LI H
