国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) B82(3)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(3) H01L023/532(3) C01B032/186(2)
H01L021/3205(2) H01L021/336(2) H01L021/768(2)
H01L023/522(2) H01L027/11524(2) H01L027/11556(2)
H01L027/1157(2) H01L027/11582(2) H01L029/788(2)
H01L029/792(2)
发明人 KATAGIRI M(3) MIYAZAKI H(3) SAKAI T(3)
YAMAZAKI Y(2) YOSHIDA T(2)
公开年 2018(4)
申请年 2017(4) 
专利权人 TOSHIBA KK(4)