国家/地区 台湾（4）
IPC部 C（4）
IPC大类 C01（4）
IPC小类 C01B（4） H01L（3） B22F（2）
B82Y（2） C08J（2） C09D（2）
C22C（2） G03F（2）
IPC C01B032/182（3） B22F001/00（2） B82Y030/00（2）
B82Y040/00（2） C01B032/184（2） G03F001/62（2）
G03F001/64（2） G03F007/20（2）
发明人
公开年 2018（4）
申请年 2017（3） 
专利权人

Carbon aggregate for produces higher-order carbon substance, comprises two connected multi-walled spherical fullerenes and layers of graphene and coating, where coating is connected with multi-walled spherical fullerenes.

COOK D, GHEZELBASH H, ANZELMO B H, TANNER D, SINGH S

Manufacturing graphene film used for manufacturing pellicle involves coating graphene with protective film, removing base material by wet etching with etching liquid and dissolving protective film using solvent having lower surface tension.

YANASE Y, YANASE M, LIANG L

Flexible, low shrinkage, conductive formulation for coating substrate of articles and filling gaps in electronic packages comprises sinterable, conductive metal particles, graphene, diluent, and polymer resin.

HONG X, SANCHEZ J G, CAO X, ZHUO Q

Method of making a pellicle for use in extreme ultraviolet (EUV) lithography system, by depositing graphene layer over first material layer, and depositing amorphous silicon layer over graphene layer.

TU C, CHEN C, YOO C S, CHANG J, TSAI C, LIU P, LEE H, LIN C, LIN Y, TU Z, CHEN J, CAI J, YOU Q, ZHANG Z, LIN Z, LIU B, LI X, YOO C