国家/地区 英国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(3) B82(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2019(4)
申请年 2018(4) 
专利权人