国家/地区 韩国(4) 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人 LEE C(4)
公开年 2021(4)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)