国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(3) C23C016/04(2)
C30B001/02(2) C30B029/64(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(4) 
专利权人