国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5) H01(5) C23(2)
IPC小类 C30B(5)
IPC H01L021/02(4) C30B025/18(3) C30B029/38(3)
C23C016/34(2) H01L021/20(2) H01L029/16(2)
H01L031/0304(2) H01L031/0352(2) H01L031/18(2)
H01L033/00(2) H01L033/06(2) H01L033/08(2)
H01L033/24(2) H01L033/32(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MUNSHI M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(5)
申请年 2020(5)
专利权人 CRAYONANO AS(2)