国家/地区 台湾(4)
IPC部 C(3) B(2) H(2)
IPC大类 C01(3) B82(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3) B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B032/182(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/184(2) C01B032/188(2) C01B032/19(2)
C01B032/196(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
H01L021/335(2) H01L021/78(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/417(2) H01L029/423(2)
发明人 ZHANG T(4)
公开年 2022(4)
申请年 2021(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(4) UNIV TSINGHU.(4) HONGFUJIN PR.(2)