国家/地区 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 俄罗斯(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(11)
IPC大类 B82(11)
IPC小类 B82Y(11)
IPC B82Y030/00(9) B82Y040/00(6) C01B032/194(5)
C23C014/14(2) C23C016/26(2) C23C018/16(2)
H01L021/027(2)
发明人
公开年 2022(11)
申请年 2021(11)
专利权人

KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R