国家/地区 | 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 俄罗斯(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(11)![]() |
IPC大类 |
B82(11)![]() |
IPC小类 |
B82Y(11)![]() |
IPC |
B82Y030/00(9)
B82Y040/00(6)
C01B032/194(5)
C23C014/14(2) C23C016/26(2) C23C018/16(2) H01L021/027(2) |
发明人 | |
公开年 |
2022(11)![]() |
申请年 |
2021(11)![]() |
专利权人 |
PARK G O, YOO S K, CHUNG J H, ZHENG Z, YU S, PARK G
IONI YU V, SUSLIN S G
LEPPAENIEMI J, SNECK A
CHERNOZATONSKII L A, DEMIN V A, KVASHNIN D G
SONG K, WU J, HU X, WU F, XU D, SHI Y, GU C, XU J
KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R