国家/地区 中国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C30B029/02(3) C01B032/186(2) C23C014/18(2)
C23C014/35(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B025/18(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2021(5)
专利权人