国家/地区 | 中国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
C30B029/02(3)
C01B032/186(2)
C23C014/18(2)
C23C014/35(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2) C30B025/18(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(5)![]() |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
SHRIVASTAVA M, KHANEJA M, MEERSHA A
CHANG K, HUANG M, WANG H, CHEN K
PENG H, YANG Y, CAO Y, TANG J, YAN R, DU Y