国家/地区 韩国(2)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) C30B(2)
H01L(2)
IPC C01B032/186(5)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2021(5)
专利权人