国家/地区 | 韩国(2) |
IPC部 | C(5) H(4) |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
C30B(2)
H01L(2) |
IPC |
C01B032/186(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2023(5)![]() |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
KITANO A, SHIMIZU T, KUBO T
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S