国家/地区 韩国(4) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(5) H(5) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(5) C23(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/186(3) H01L021/285(3) H01L021/768(3)
C23C016/26(2) C23C016/505(2) C23C016/511(2)
H01L023/532(2)
发明人 LEE C(5)
公开年 2023(5)
申请年 2022(3)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)