国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC H01L021/02(4) C30B025/18(3) C30B025/16(2)
C30B029/40(2)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2022(5)
专利权人