国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) H01L(4)
H01G(2)
IPC C01B032/182(5)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2015(5)
专利权人