国家/地区 中国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) B01(2)
B08(2) B82(2) H01(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B01J(2)
B08B(2)
IPC C23C016/02(5)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2015(3) 2014(2)
申请年 2014(5)
专利权人