国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) H01(3) C01(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2023(7)
申请年 2022(4)  2021(2) 
专利权人