国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C30B(4) C01B(3)
B82B(2) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2015(2) 
专利权人