国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B82(7)![]() |
IPC小类 |
B82Y(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2017(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S