国家/地区 中国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(5)
B82(4) B32(3) C30(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) H01L(5)
B82Y(4) B32B(3) C23F(2)
C30B(2)
IPC C23C016/56(5)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2011(3)  2012(2) 
专利权人