国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
C01(3)
H01(3)
B82(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(3)
H01L(3)
B82Y(2) |
IPC |
C23C016/44(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2011(5)![]() |
申请年 | 2010(4) |
专利权人 |
LEE S, SEO S, WOO Y, CHUNG H, HEO J, LEE S H, SEO S A, WOO Y S, CHUNG H J, HEO J S, HUN L S
WANG P, ZHANG W, JIANG T, SUN Q
LIU Y, HUANG L, WANG T, JI L, CHANG Q, GUO G