国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C01(3) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) H01L(3)
B82Y(2)
IPC C23C016/44(5)
发明人
公开年 2011(5)
申请年 2010(4) 
专利权人