国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 | C23C(5) H01L(2) |
IPC |
C23C014/08(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2020(5)![]() |
专利权人 |
LIU S, SUN Y, FENG J, CAO Y, DUAN L, WANG H, DU M, WANG L, WANG K
XIN B, ZHOU X, YU J, JIANG Y, XU L, HUANG Y, YAN Q, MIAO Y, XIE X, LI A