国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) B82Y(3) C01B(3)
H01L(2)
IPC C23C016/01(6)
发明人 LIU J(2)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2012(6)
专利权人 UNIV XIDIAN(2)