国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) B(2) H(2)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C016/02(2) C23C016/26(2) C23C016/34(2)
C23C016/50(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2)
C30B029/38(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2020(4)
专利权人