国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(5) C01B032/182(3)
C01B032/186(3) C01B032/194(3) B32B009/00(2)
B82B003/00(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
C01B032/184(2) C23C016/01(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(4) 2015(3)
申请年 2015(7)
专利权人