国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C30(4)
C23(3)
H01(3)
|
IPC小类 |
C30B(4)![]() |
IPC |
H01L021/20(3)
H01L033/00(3)
C30B025/04(2)
C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2) H01L021/36(2) |
发明人 |
FAN S(3)
WEI Y(3)
FAN F Y(2)
GI Y(2) |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2012(3) |
专利权人 |
UNIV TSINGHUA(4)![]() |
ZHENG Q, MA M, HUANG J, YU Z, HE Y
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y