国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C30(4) C23(3) H01(3)
IPC小类 C30B(4)
IPC H01L021/20(3) H01L033/00(3) C30B025/04(2)
C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2)
H01L021/36(2)
发明人 FAN S(3) WEI Y(3) FAN F Y(2)
GI Y(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3) 
专利权人 UNIV TSINGHUA(4)