国家/地区 中国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B031/04(3)
C23C016/26(3) C30B029/02(3) C01B032/186(2)
C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2012(4)
申请年 2012(5)
专利权人