国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B82(5)![]() |
IPC小类 |
C30B(5)![]() |
IPC |
B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4)
C01B031/04(3)
C23C016/26(3) C30B029/02(3) C01B032/186(2) C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2012(4) |
申请年 |
2012(5)![]() |
专利权人 |
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, YOSHIHIRO C, CHIBA G
DI Z, DING G, GONG Q, LIU Q, WANG H, WANG S, XIE X