国家/地区 中国(5)
IPC部 H(5) B(3)
IPC大类 H01(5) B82(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2)
IPC H01L051/05(4) H01L021/336(3) H01L029/16(3)
H01L029/66(3) H01L029/78(3) H01L029/786(3)
H01L051/30(3) B82Y010/00(2) H01L021/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/316(2) H01L021/768(2)
H01L027/12(2) H01L029/06(2) H01L051/40(2)
发明人 LIN Y(2) LIN Y M(2)
公开年 2011(4)
申请年 2010(3) 
专利权人 IBM UK LTD(5)