国家/地区 德国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(4) B82(3)
C23(3)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/186(5) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B032/182(3) C23C016/26(3) H01L029/16(3)
C01B031/04(2) C01B032/194(2) C23C016/56(2)
发明人 THOMAS S(6)
公开年 2021(2) 2022(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(4)