国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(3) B05D003/02(2)
B05D003/06(2) B82Y040/00(2) C23C016/26(2)
C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(4)
申请年 2010(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J