国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C01B031/02(4)
C01B031/04(3)
B05D003/02(2)
B05D003/06(2) B82Y040/00(2) C23C016/26(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2010(4)![]() |
申请年 | 2010(2) |
专利权人 |
KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J
FUJITA JUNICHI, FUJITA J I, FUJITA J