| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(4)
|
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(3)
|
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
B05D(3)
B82Y(3) H01L(3) B01J(2) |
| IPC |
C23C016/56(4)
|
| 发明人 | ZENASNI A(2) |
| 公开年 | 2010(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 | COMMISSARIAT.(2) |
