国家/地区 日本(5)
IPC部 H(5) B(3) C(3)
IPC大类 H01(5) C01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) B82Y(2)
IPC H01L029/786(4) H01L021/336(3) H01L029/06(3)
B82Y099/00(2) C01B031/02(2) H01L021/20(2)
发明人 OKAI M(5)
公开年 2010(3) 2011(2)
申请年 2009(2)  2010(2) 
专利权人 OKAI M(5)