国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(4) G03(2)
IPC小类 C01B(4) G03F(2)
IPC G03F001/22(2) G03F001/62(2)
发明人 KIM C(5)
公开年 2022(5)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人 FINE SEMITEC.(2)

CHOI J H, CHO S J, YU L, KIM C, LEE S Y, SEO K W, KIM K S, MOON S Y, KIMCHUNG, SEO K