国家/地区 台湾(11)
IPC部 C(8) B(5) H(5)
G(4)
IPC大类 C01(7) H01(5) B32(2)
B82(2) C23(2) G03(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(3) B32B(2)
B82Y(2) C23C(2) G03F(2)
IPC C01B032/20(5) B82Y030/00(2) C01B032/184(2)
C23C016/26(2) G03F001/22(2) G03F001/62(2)
H01L021/033(2)
发明人 LIN Y(3) CHEN C(2) LEE H(2)
LI X(2) LIN C(2) LIN I(2)
LIN Z(2)
公开年 2018(11)
申请年 2016(11)
专利权人 LIN I(2) TAIWAN SEMIC.(2) UNIV NAT TAI.(2)