| 国家/地区 |
台湾(11)
|
| IPC部 |
C(8)
B(5)
H(5)
G(4) |
| IPC大类 |
C01(7)
H01(5)
B32(2)
B82(2) C23(2) G03(2) |
| IPC小类 |
C01B(7)
H01L(3)
B32B(2)
B82Y(2) C23C(2) G03F(2) |
| IPC |
C01B032/20(5)
B82Y030/00(2)
C01B032/184(2)
C23C016/26(2) G03F001/22(2) G03F001/62(2) H01L021/033(2) |
| 发明人 |
LIN Y(3)
CHEN C(2)
LEE H(2)
LI X(2) LIN C(2) LIN I(2) LIN Z(2) |
| 公开年 |
2018(11)
|
| 申请年 |
2016(11)
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| 专利权人 | LIN I(2) TAIWAN SEMIC.(2) UNIV NAT TAI.(2) |
ZHANG G, CHEN Y, LU G
LIN Y, CHEN H, LIN C, LEE H, KU Y, LO W, YEN A, CHIEN M, CHEN X, LIN Z, LI X, GU Y, LUO W, YAN T, LIN J, QIAN Z, CHIEN M Z
CHEN C, HU S, TIEN L, CHEN C H, TIEN L W
SHIH S, LIN Y
CHIANG W, WANG S, DEAN A A M, WEIHUNG C, SHANYU W
CHAKI N K, DAS B, DEVARAJAN S, SARKAR S, RAUT R, SINGH B, PANDHER R, KHASELEV O, DIFFARAJAN S, LAUT R, PANDE R, COSERLEF O
TU C, CHEN C, YOO C S, CHANG J, TSAI C, LIU P, LEE H, LIN C, LIN Y, TU Z, CHEN J, CAI J, YOU Q, ZHANG Z, LIN Z, LIU B, LI X, YOO C
