国家/地区 日本(4)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 H01L(4) C01B(3)
IPC H01L029/06(4) C01B031/02(3) H01L029/16(3)
H01L029/786(3) C01B032/182(2) H01L021/02(2)
H01L021/28(2) H01L021/3205(2) H01L021/336(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/66(2)
H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 SATO S(3) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(3)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)